原位薄膜應力測試儀又名原位薄膜應力計,采用非接觸激光MOS技術(shù);不但可以對樣品表面應力分布進(jìn)行統計分析,而且還可以進(jìn)行樣品表面二維應力、曲率成像分析;客戶(hù)可自行定義選擇使用任意一個(gè)或者一組激光點(diǎn)進(jìn)行測量;并且這種設計始終保證所有陣列的激光光點(diǎn)始終在同一頻率運動(dòng)或掃描,從而有效的避免了外界振動(dòng)對測試結果的影響;同時(shí)提高了測試的分辨率;適合各種材質(zhì)和厚度薄膜應力分析;
更新時(shí)間:2024-07-04
廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
kSA 400 RHEED分析系統,適合各種RHEED系統和薄膜沉積系統(如:脈沖激光沉積設備PLD,濺射系統Sputtering,分子束外延MBE, 金屬有機化學(xué)氣象沉積MOCVD等)!目前第四代系統結合新的硬件和軟件,為客戶(hù)提供豐富的RHEED分析信息。
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