k-Space寬帶隙半導體原位溫度監測系統與Veeco取得合作

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k-Space CEO Darryl Barlett：“ k-Space和Veeco在分子束外延（MBE）沉積市場(chǎng)上有著(zhù)長(cháng)期成功的合作伙伴關(guān)系。我們與Veeco緊密合作，提供了直接與Veeco的控制軟件進(jìn)行通訊的現場(chǎng)測量工具，從而為終用戶(hù)提供了對其沉積過(guò)程的完整監控。我們很高興在此多沉積腔室VeecoGEN200®MBE系統上集成多種半導體薄膜測量設備”

1.kSA UV BandiT設計用于在高溫計無(wú)法測量的范圍內對寬帶隙半導體進(jìn)行原位溫度監測，包括在紅外和可見(jiàn)光波長(cháng)范圍內透明的基板的溫度。 kSA UV BandiT通過(guò)基于帶邊的吸收光譜在200-500 nm范圍內監控溫度。

2.kSA MOS是完整的曲率，應力，反射率和增長(cháng)率原位測量?jì)x器。 k-Space工程師創(chuàng )建了一個(gè)自定義配置，其中包括標準kSA MOS測量和380-1100 nm范圍內的光譜反射率監視的功能。

kSA BandiT和kSA MOS均使用kSA技術(shù)。

3.kSA 400是功能強大的分析反射高能電子衍射（RHEED）系統，具有先進(jìn)的軟件。該系統捕獲靜態(tài)和實(shí)時(shí)數據，并使用軟件中強大的分析工具來(lái)分析RHEED數據。

Veeco將把kSA以上的3種工具整合到多沉積室GEN200 MBE系統中，該系統配置用于生長(cháng)氮化物。 GEN200是一種高性能，高性?xún)r(jià)比的多4英寸晶圓生產(chǎn)MBE系統，已在先進(jìn)的生產(chǎn)MBE設施中使用。

k-Space將于今年夏天交付該集成系統，以便終在客戶(hù)現場(chǎng)進(jìn)行安裝。我們十分期待該系統在國內能為Veeco用戶(hù)提供強有力的幫助！