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桌面型原子層沉積系統由哈佛大學(xué)納米科學(xué)中心薄膜沉積工藝研究科學(xué)家Dr. Philippe de Rouffignac設計，基于多年納米薄膜制備的經(jīng)驗以及對科研工作者切實(shí)研究需要的了解，推出了此桌面型原子層沉積系統。