近期我司推出最新產(chǎn)品,kSA XRF在線(xiàn)X射線(xiàn)熒光膜厚測量?jì)x!對于膜層厚度太薄的金屬薄膜和介電薄膜,光學(xué)方法測量其厚度顯得不是很可靠。kSA XRF在線(xiàn)X射線(xiàn)熒光膜厚測量?jì)x的推出主要就是為了解決該問(wèn)題,它可以在線(xiàn)測量許多不同材料基底(例如:玻璃和太陽(yáng)能電池組件)上的薄膜厚度。
1.配備保護性定制框架外殼,放置 X 射線(xiàn)源和探測器。
2.該設備橋接了傳輸線(xiàn),以便于設備安裝和工廠(chǎng)用戶(hù)對系統的訪(fǎng)問(wèn)。
3.當 X 射線(xiàn)源正在使用時(shí),會(huì )有警示燈閃爍提示。
4.配備面板的前/后邊緣光電檢測器,用于觸發(fā)設備自動(dòng)啟停。
5.柜式控制器提供數據處理及存儲功能。
6.配備小型燈塔用于指示檢測情況。
1.某些超薄的介電薄膜,光學(xué)方法難以測量其厚度,如低于100nm厚度薄膜;在這種情況下,kSA XRF可以很好地測量。3.實(shí)時(shí)數據采集,檢測薄膜厚度缺陷并進(jìn)行在線(xiàn)反饋。4.軟件功能可定制,用戶(hù)可以依據特定要求設置。5.檢測過(guò)程中可對質(zhì)量控制進(jìn)行驗證,以確保涂層厚度在公差范圍內。6.工廠(chǎng)集成功能:使工廠(chǎng)用戶(hù)能夠將設備整合到現有系統(如:工廠(chǎng)警報、PLC、電子郵件警報等)中。7.操作便捷,幾乎不需要額外設置,只需操作員定期進(jìn)行設備校準。
1.該系統由一個(gè)帶有高壓發(fā)生器的 X 射線(xiàn)管和一個(gè) X 射線(xiàn)探測器系統組成。2.其 X 射線(xiàn)檢測系統組合了固態(tài)探測器、放大器、脈沖高度分析儀和多通道分析儀。3.光譜儀能量校準后,系統自動(dòng)識別 X 射線(xiàn)光譜峰值,并收集峰值強度以進(jìn)行進(jìn)一步處理。4.該工具可根據客戶(hù)的薄膜配方和測量需求測量對應的原子種類(lèi)。
1.使用專(zhuān)有的 k-Space 軟件測量,分析和存儲數據。3.利用光電檢測器的觸發(fā)器啟動(dòng)和停止數據采集。4.專(zhuān)為典型的玻璃和太陽(yáng)能電池板輸送速度而設計。5.全自動(dòng)化,能夠與工廠(chǎng)自動(dòng)化通信對接。7.單個(gè)檢測頭可以放置在面板寬度上的任何位置,并且可選配使用多個(gè)檢測頭。8.厚度測量范圍為 0~500 nm±1 nm,靈敏度和測量不確定度取決于被測元素。